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- 產(chǎn)品描述
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- 商品名稱: 100kg級氧化亞硅氣相沉積爐
應(yīng)用領(lǐng)域：
氧化亞硅原料/氣相預(yù)鎂化中試
工藝描述：
二氧化硅及單質(zhì)硅歸中反應(yīng)、氣相沉積提 純，二元/三元氧化亞硅氣相預(yù)鎂
型 號
裝料尺寸
裝載量
工作溫度
極限溫度
真空度
總功率
氣氛類別
工藝時長
設(shè)備重量
MGB50-50-120VH
500X5001200
0.24M3
1400℃
1600℃
0.5-2.5Pa
150KW
Ar/N2
24H
6.5T
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