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- 產品描述
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- 商品名稱: 真空回轉爐
應用領域:CVD氣相包覆
工藝特點:初始真空度8-10Pa,氧含量不高于50PPM, 連續(xù)進出料,有機氣體裂解碳源與硅料形 成包覆;節(jié)省氮氣使用量95%,能耗降低 30%。
型 號
裝料尺寸
產能
工作溫度
極限溫度
真空度
總功率
氣氛類別
工藝時長
設備重量
MGB90-2300HH1
Φ 1200 * 23000
100Kg/h
950℃
1050℃
8-10Pa
580KW
Ar/N2
4H
30T
關鍵詞:
產品咨詢
服務熱線:
聯(lián)系人:韓女士 13715309912 (微信同號)
地址:深圳市坪山區(qū)坪山街道六和社區(qū)寶山第四工業(yè)區(qū)第20棟

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